يعد تحضير العينة بشكل صحيح أمرًا بالغ الأهمية للحصول على نتائج دقيقة وذات معنى من تحليل المجهر الإلكتروني الماسح ومطيافية الأشعة السينية المشتتة للطاقة. تختلف عملية التحضير بشكل كبير اعتمادًا على خصائص المادة، والأهداف التحليلية، والخصائص الجوهرية للعينة نفسها. يعد فهم هذه البروتوكولات أمرًا بالغ الأهمية لمهندسي المواد الذين يعملون مع مخرجات التصنيع المتقدمة، من مكونات انصهار مسحوق الطبقة إلى نماذج السيراميك الأولية.
تتضمن مرحلة التحضير الأولية تنظيفًا شاملًا لإزالة الملوثات السطحية التي قد تتداخل مع التصوير أو التحليل العنصري. عادةً ما يتم إزالة المخلفات العضوية باستخدام مذيبات مثل الإيثانول أو الأسيتون في منظف بالموجات فوق الصوتية. بالنسبة للمواد المسامية المصنعة من خلال الربط بالحقن، يجب توخي الحذر الخاص للحفاظ على السلامة الهيكلية مع ضمان نظافة السطح. قد تتطلب العينات المعدنية من عمليات مثل الترسيب بالطاقة الموجهة إزالة الشحوم لإزالة سوائل القطع أو مخلفات التصنيع الأخرى.
يجب طلاء العينات غير الموصلة، بما في ذلك معظم اللدائن والسيراميك، بطبقة موصلة فائقة الرقة لمنع تأثيرات الشحن تحت الشعاع الإلكتروني. يخلق الطلاء بالرش بالذهب أو الذهب-البلاديوم أو الكربون سطحًا موصلًا يتراوح سمكه عادةً بين 2-20 نانومتر. يُفضل طلاء الكربون لتحليل EDS لأنه يقلل من التداخل مع قمم العناصر، وهو أمر بالغ الأهمية عند تحليل الراتنجات أو المواد المركبة المعقدة.
لفحص الهيكل الداخلي، غالبًا ما تتطلب العينات تقطيعًا دقيقًا. هذا ذو صلة خاصة بتحليل التصاق الطبقات في الأجزاء المصنعة بالإضافةًا أو سمك الطلاء على المكونات ذات المعالجة السطحية. يوفر التركيب في راتنجات الإيبوكسي الاستقرار أثناء القطع والتلميع، خاصةً للمواد الهشة مثل بعض مكونات السبائك الفائقة التي قد تتطلب المعالجة الحرارية قبل التحضير.
يخلق التلميع المعدني سطحًا مرآتيًا خاليًا من الملامح ضروريًا للفحص المجهري للبنية. تتضمن هذه العملية الطحن المتسلسل باستخدام كاشطات تدريجية أدق يليها التلميع بمعلق السيليكا الغروي أو الماس. يعد التلميع السليم أمرًا حيويًا لتحليل هيكل الحبيبات في مكونات سبائك التيتانيوم المستخدمة في تطبيقات الفضاء والطيران أو فحص توزيع الطور في أدوات الفولاذ الكربوني.
معظم تحليلات SEM/EDS الشاملة مدمرة للعينة. يغير التقطيع العرضي العينة بشكل لا رجعة فيه، مما يجعلها غير مناسبة للاستخدام الوظيفي. عملية الطلاء، وإن كانت طفيفة، تعدل كيمياء السطح وقد تمنع تقنيات التحليل اللاحقة. بالإضافة إلى ذلك، يمكن لبيئة الفراغ في غرفة SEM أن تجفف أو تغير المواد البيولوجية وبوليمرات معينة، بما في ذلك بعض النماذج الأولية لأجهزة الطبية والرعاية الصحية.
يمكن إجراء بعض التحليلات مع حد أدنى من التعديل على العينات. يمكن فحص المكونات الكبيرة دون تقطيع إذا كانت مناسبة داخل غرفة SEM. غالبًا ما تتطلب المواد الموصلة مثل سبائك النحاس أو درجات معينة من الفولاذ المقاوم للصدأ التنظيف فقط قبل التحليل. بالنسبة للتحقق من صحة النماذج الأولية السريعة، تسمح هذه الطريقة بالاختبار الوظيفي بعد فحص SEM.
تتطلب الأجزاء المنتجة من خلال حقن المواد أو التصليب الضوئي في الحوض بروتوكولات محددة للحفاظ على الميزات الدقيقة مع ضمان التوصيلية. يعد إزالة هيكل الدعم والتقطيع الموجه محوريًا أمرًا بالغ الأهمية للتحليل الدقيق طبقة تلو الأخرى في النماذج الأولية للسيارات والمكونات الوظيفية.